パルスパワーで駆動される極端紫外(EUV)光源プラズマの高効率化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT06014

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会

発行日: 2006/02/06

タイトル(英語): Plasma Efficiency of Pulse Power based Extreme-Ultra-Violet (EUV) Radiation Sources

著者名: 堀岡 一彦(東京工業大学),志甫 諒(東京工業大学),堀田 栄喜(東京工業大学),河村 徹(東京工業大学),中島 充夫(東京工業大学),MASNAVI Majid(東京工業大学),菊地 淳史(東京工業大学),高橋 謙作(東京工業大学)

著者名(英語): Kazuhiko Horioka(Tokyo Institute of Technology),Shiho Makoto(Tokyo Institute of Technology),Eiki Hotta(Tokyo Institute of Technology),Tohru Kawamura(Tokyo Institute of Technology),Misuo Nakajima(Tokyo Institute of Technology),Majid Masnavi(Tokyo Institute of Technology),Atsushi Kikuchi(Tokyo Institute of Technology),Kensaku Takahashi(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 電磁パルス|パルス･パワー|高速ピンチ放電|紫外光源|EUV|キャピラリー

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 737 Kバイト