減圧マルチガス誘導結合プラズマ源

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT06054

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会

発行日: 2006/08/07

タイトル(英語): Low Pressure Multi-Gas Inductively Coupled Plasma Source

著者名: 景安泰千 (東京工業大学),瀧本和靖 (東京工業大学),熊谷 航(東京工業大学),宮原 秀一(東京工業大学),渡連 正人(東京工業大学),堀田 栄喜(東京工業大学),沖野 晃俊(東京工業大学)

著者名(英語): Taichi Kageyasu(Tokyo Institute of Technology),Kazuyasu Takimoto(Tokyo Institute of Technology),Wataru Kumagai(Tokyo Institute of Technology),Hidekazu Miyahara(Tokyo Institute of Technology),Masato Watanabe(Tokyo Institute of Technology),Eiki Hotta(Tokyo Institute of Technology),Akitoshi Okino(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 誘導結合プラズマ|減圧プラズマ|マルチガスプラズマ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,112 Kバイト