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EUV光源用Zピンチプラズマの挙動と制御

EUV光源用Zピンチプラズマの挙動と制御

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カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT07011

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会

発行日: 2007/02/03

タイトル(英語): Dynamics of Z-pinch plasma for EUV source

著者名: 富丸薫文 (熊本大学),今村 英樹(熊本大学),中川 喜栄(熊本大学),佐久川 貴志(熊本大学),浪平 隆男(熊本大学),勝木 淳(熊本大学),秋山 秀典(熊本大学)

著者名(英語): Nobufumi Tomimaru(Kumamoto University),Hideki Imamura(Kumamoto University),Kiei Nakagawa(Kumamoto University),Takashi Sakugawa(Kumamoto University),Takao Namihira(Kumamoto University),Sunao Katsuki(Kumamoto University),Hidenori Akiyama(Kumamoto University)

キーワード: Zピンチプラズマ|極端紫外線光源|時間分解イメージング|時間分解分光|縦磁場|Z-pinch plasma|extreme ultraviolet|time resolved imaging|time resolved spectroscopy|axial magnetic fields

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 496 Kバイト

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