EUV光源用レーザー生成スズプラズマから発生する中性原子及び高速イオンの特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT07012

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会

発行日: 2007/02/03

タイトル(英語): Characteristics of the Neutral Atoms and Fast Ions Generated from Laser-Produced Tin Plasma for EUV Light Sources

著者名: 田丸 晃士(九州大学),橋本 祐樹(九州大学),中村 大輔(九州大学),高橋 昭彦(九州大学),岡田 龍雄(九州大学)

著者名(英語): Koji Tamaru(Kyushu University),Yuki Hashimoto(Kyushu University),Daisuke Nakamura(Kyushu University),Akihiko Takahashi(Kyushu University),Tatsuo Okada(Kyushu University)

キーワード: 光リソグラフィ|EUV光|レーザー生成プラズマ|デブリ|レーザー誘起蛍光法|Light lithography|EUV light|Laser-produced plasma|Debris|Laser-induced fluorescence Spectroscopy

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 476 Kバイト