CNx成膜のためのシャンティングアークを用いた炭素・窒素混合プラズマの生成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT07025

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会

発行日: 2007/05/25

タイトル(英語): Production of nitrogen-containing carbon shunting arc plasma for carbon nitride film preparation

著者名: 今西 圭吾(岩手大学),村上 貴之(岩手大学),向川 政治(岩手大学),高木 浩一(岩手大学),藤原 民也(岩手大学),行村 建(同志社大学),須田 善行(北海道大学)

著者名(英語): Keigo Imanishi(Iwate University),Takayuki Murakami(Iwate University),Seiji Mukaigawa(Iwate University),Koichi Takaki(Iwate University),Tamiya Fujiwara(Iwate University),Ken Yukimura(Doshisha University),Yoshiyuki Suda(Hokkaido University)

キーワード: シャンティングアーク|複合プラズマ|プラズマイオン注入|CNx薄膜|Shunting arc|Hybrid plasma|plasma-based ion implantation|CNx thin film

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 476 Kバイト