微小ギャップにおける大気圧過渡グロー放電の炭素系物質生成への応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT07039

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会

発行日: 2007/11/26

タイトル(英語): Production of Carbon Materials Using Atmospheric Pressure Transient Glow Discharge in Microgap Electrodes

著者名: 井深 真治(東京工業大学),原田 昴一(東京工業大学),菊池 淳(東京工業大学),五十嵐 晃一(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Shinji Ibuka(Tokyo Institute of Technology),Koichi Harada(Tokyo Institute of Technology),Jun Kikuchi(Tokyo Institute of Technology),Koichi Igarashi(Tokyo Institute of Technology),Shozo Ishii(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: マイクロプラズマ|大気圧過渡グロー放電|ダイヤモンドライクカーボン

要約(日本語): 非線形伝送線路を用いた新しいバーストパルス発生器によって微小ギャップ間における大気圧過渡グロー放電を駆動した。高速パルス列印加の効果により，アーク放電への遷移確率が減少し，放電への大電力注入に成功した。さらに，過渡グローマイクロプラズマの応用としてダイヤモンドライクカーボンの生成を試みた。堆積された薄膜のラマンスペクトル測定で，ＤＬＣ特有のＧバンドとＤバンドのピークが存在し，大気圧下におけるＤＬＣ成膜に成功したことが確認された。

要約(英語): Atmospheric pressure transient glow discharges in microgap electrodes were driven by a novel burst pulse generator with a nonlinear transmission line. Utilizing pulse train driving technique, probability of a glow-to-arc transition is successfully suppres

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 647 Kバイト