質量選択的運動量制御に向けた亜鉛-酸素混合プラズマ中の透明導電膜合成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT08013

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会

発行日: 2008/01/26

タイトル(英語): The synthesis of transparent conductive film in the zinc-oxygen mixture plasma for mass-selective momentum control

著者名: 佐藤 直幸(茨城大学),小松 良寛(茨城大学),池畑 隆(茨城大学),山内 智(茨城大学),大貫 仁(茨城大学)

著者名(英語): Naoyuki Sato(Ibaraki University),Yoshihiro Komatsu(Ibaraki University),Takashi Ikehata(Ibaraki University),Satoshi Yamauchi(Ibaraki University),Jin Oonuki(Ibaraki University)

キーワード: ZnO系透明導電膜|Zn-O混合プラズマ|質量選択的運動量制御|ICPプロセス|ZnO transparent conductive film|Zn-O mixture plasma|mass-selective momentum control|ICP processing

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 750 Kバイト