深紫外フラッシュランプの分光特性評価と環境応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT08068

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会

発行日: 2008/12/26

タイトル(英語): Characterization and Environmental Application of Deep Ultraviolet Flash-Lamp

著者名: 大塚雄史 (東京工業大学),中島 充夫(東京工業大学),河村 徹(東京工業大学),堀岡 一彦(東京工業大学)

著者名(英語): Yuji Otsuka(Tokyo Institute of Technology),Mitsuo Nakajima(Tokyo Institute of Technology),Tohru Kawamura(Tokyo Institute of Technology),Kazuhiko Horioka(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: フラッシュランプ，パルス放電，深紫外光，希ガス，線量率効果Flash-lamp| Pulsed discharge| Deep UV| Rare gas| Dose rate effect

要約(英語): Characterization of a UV(Ultraviolet) flash-lamp light source was made experimentally in deep ultraviolet regime. We measured the total photon energy, the emission spectrum, and the spectrum photon flux as a function of discharge parameters. When a discha

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 702 Kバイト