放電プラズマＥＵＶ光源における放電後の絶縁破壊特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT08069

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会

発行日: 2008/12/26

タイトル(英語): Breakdown characteristics of post discharge phase in discharge produced plasma EUV light source

著者名: 長野清彦 (熊本大学),安井大貴 (熊本大学),桑波多 晃弘(熊本大学),山本 達也(熊本大学),勝木 淳(熊本大学),佐久川 貴志(熊本大学),秋山 秀典(熊本大学)

著者名(英語): Taiki Yasui(Kumamoto University),Kiyohiko Nagano(Kumamoto University),Akihiro Kuwahata(Kumamoto University),Tatsuya Yamamoto(Kumamoto University),Sunao Katsuki(Kumamoto University),Takashi Sakugawa(Kumamoto University),Hidenori Akiyama(Kumamoto University)

キーワード: レーザーアシスト放電|極端紫外線光源|高繰り返し運転|絶縁破壊|Laser-assist discharge|extreme ultraviolet source|highly repetitive operation|breakdown

要約(日本語): 現在，次世代の半導体露光用光源として波長13.5nmの極端紫外線(Extreme ultraviolet；EUV)光源の開発が行われている．EUV光源の実用化のためには様々なパラメータの測定が必要となる．本研究室ではレーザーアシストによる放電スズプラズマを生成し，その放電特性を測定した．発表では，その詳細を述べる．

要約(英語): High energy density plasmas produced by pulsed power discharges are expected to be one of the most powerful EUV light sources for the next generation nanolithography. The laser ablation technique is used to improve both of the spatial stability and the EU

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 732 Kバイト