誘導結合型RFパルス放電を重畳させたハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電のアルゴン.窒素雰囲気下における電気的特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT09072

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　パルスパワー研究会

発行日: 2009/08/08

タイトル(英語): The electrical characteristic of High Power Pulse Sputter(HPPS)glow discharge overlapped with pulsed-RF ICP in ambient argon and nitrogen gas

著者名: 東 欣吾(兵庫県立大学),佐久間 雄基(同志社大学),行村 建(同志社大学),玉垣 浩(神戸製鋼所),沖本 忠雄(神戸製鋼所)

著者名(英語): Kingo Azuma(University of Hyogo),Yuki Sakuma(Doshisha University),Ken Yukimura(Doshisha University),Hirosi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD.),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD.)

キーワード: パルス放電プラズマ|グロー放電|ペニング放電|RF放電|スパッタ|プラズマイオンプロセス|Pulsed discharge plasma|Glow discharge|Penning discharge|RF discharge|Sputter|Plasma ion process

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 814 Kバイト