集束イオンビーム支援堆積法で形成したカーボン系薄膜の機械的特性のイオン種依存性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT09086

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　パルスパワー研究会

発行日: 2009/08/09

タイトル(英語): Ion species-dependence of the mechanical properties of the carbonaceous films formed by focused ion-beam-induced chemical vapor deposition

著者名: 柳沢 淳一(滋賀県立大学)

著者名(英語): Junichi Yanagisawa(The University of Shiga Prefecture)

キーワード: 集束イオンビーム（FIB）|化学気相成長（CVD）|フェナントレン|カーボン系薄膜|ナノインデンテーション|硬さ|ヤング率|focused ion beam(FIB)|chemical vapor deposition(CVD)|phenanthrene|carbonaceous films|nanoindentation|hardness|Young's modulus

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 549 Kバイト