パルスパワーを用いた大電流グロー放電プラズマの生成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT10004

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会

発行日: 2010/01/07

タイトル(英語): Production of a large-current glow plasma using pulsed power generator

著者名: 高木 浩一(岩手大学),八木 一平(岩手大学),向川 政治(岩手大学),藤原 民也(岩手大学),浪平 隆男(熊本大学),郷 冨男(一関工業高等専門学校)

著者名(英語): Takaki Koichi(Iwate University),Yagi Ippei(Iwate University),Mukaigawa Seiji(Iwate University),Fujiwara Tamiya(Iwate University),Namihira Takao(Kumamoto University),Go Tomio(Ichinoseki National College of Technology)

要約(日本語): グロー放電プラズマは、活性種・励起種などを豊富に含み、空間的均一性も高く、ガス温度は低いなどの特性を有しており、このため成膜、スパッタ、表面改質などの材料プロセスに、多く用いられる。報告では、パルス電源を用いた、100Aを超える大電流グロー放電プラズマの発生やその特性について述べる。比較的気圧が高い場合や電流が大きい場合、陰極付近のシースに投入されるエネルギー密度が高くなり、熱的不安定性が生じ、アーク放電へと転移しやすい。報告では、熱的不安定性を起こすエネルギー密度について述べ、その後、そのエネルギー直前で電圧を遮断し、グロー放電プラズマを発生させた結果を述べる。発生させたプラズマは、スオームデータを基礎とした解析や、分光法で、密度やエネルギーについて解析を行った。エネルギーの解析は、ガス温度、分子の振動温度について行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,080 Kバイト