放電型エキシマレーザの高繰返し化に伴う密度擾乱

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT10011

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会

発行日: 2010/02/22

タイトル(英語): Evolution of Density Disturbance in Highly Repetitive Excimer Laser

著者名: 斎藤 隆志(東京工業大学),堀岡 一彦(東京工業大学)

著者名(英語): Saito Takashi(Tokyo Institute of Technology),Horioka Kazuhiko(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: Ｅｘｃｉｍｅｒ　ｌａｓｅｒ|Ｒｅｐｅｔｉｔｉｖｅ　ｏｐｅｒａｔｉｏｎ|Ｓｈｏｃｋ　ｗａｖｅ|Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ　|Ａｃｏｕｓｔｉｃ　ｗａｖｅ|エキシマ レーザ|繰返し動作|衝撃波|リソグラフィー|音響波

要約(日本語): 放電型エキシマレーザの動作に伴って駆動される衝撃波は減衰しながら伝搬・反射し、密度擾乱を誘起するが、放電領域の密度擾乱は繰り返し周波数とレーザ装置内部の幾何学的構造に依存する。再現性やスペクトル特性に及ぼす密度擾乱の影響を評価するとともに高繰返し化のための対策について述べる。

要約(英語): Effects of discharge induced disturbance were investigated for stable and highly repetitive operation of excimer laser. Behaviors of the density disturbance in excimer laser cavity were discussed based on a comparison between experimental results and numerical simulations. A method for the mitigation of density disturbance was also discussed.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 491 Kバイト