パルス二次電子銃の開発とVOC分解への応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT10012

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会

発行日: 2010/02/22

タイトル(英語): Development of a pulsed secondary electron emission gun and its application to VOC treatment

著者名: 加藤 大輔(東京工業大学),杉原 良(東京工業大学),渡辺 正人(東京工業大学),堀田 栄喜(東京工業大学)

著者名(英語): Kato Daisuke(Tokyo Institute of Technology),Sugihara Ryo(Tokyo Institute of Technology),Watanabe Masato(Tokyo Institute of Technology),Hotta Eiki(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: パルス放電|電子ビーム|高電圧|ＶＯＣ|pulsed discharge|electron beam|high voltage|VOC

要約(日本語): 　表面改質や殺菌，気体処理など幅広い分野において電子ビームの利用が広がっている．これまでに本研究では，パルス放電技術と高電圧技術を併用したパルス二次電子銃の開発を進めてきた．本報告では，電子ビーム電流の測定を行い，装置の特性を調査した．また，開発した二次電子銃を用いて光化学オキシダントなどの原因物質とされているVOCの処理を試みた．今回はVOCとしてトルエンを使用し，背景ガスの違いによる分解特性を調べた．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 972 Kバイト