非中性プラズマを用いた新しい取り組み -２流体プラズマからクラスターまで-

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT10098

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会

発行日: 2010/12/16

タイトル(英語): Exloring new research fields using nonneutral plasmas

著者名: 比村 治彦(京都工芸繊維大学)

著者名(英語): Himura Haruhiko(Kyoto Institute of Technology)

キーワード: 非中性プラズマ|２流体プラズマ|クラスター|化合物半導体

要約(日本語): 非中性プラズマを用いた新しい研究手法の開発を進めている。現在，２流体プラズマと化合物半導体薄膜生成への適用可能性を調べている。本研究会では最新の進捗状況について報告する。

要約(英語): We have investigated possibilities of new research methods for both two-fluid plasmas and thin solid films using nonneutral plasmas. In this workshop, details of those studies are presented.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 861 Kバイト