トリガ方式によるバリア放電帯状プラズマの伸長化に関する一考察

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT11014

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会

発行日: 2011/06/04

タイトル(英語): A consideration about a trigger electrode for extension of barrier discharge plasma

著者名: 伊藤 陽菜(岩手大学),高橋 和貴(岩手大学),向川 政治(岩手大学),志田 寛(岩手大学),高木 浩一(岩手大学),藤原 民也(岩手大学)

著者名(英語): Itoh Haluna(Iwate University),Takahashi Kazunori(Iwate University),Mukaigawa Seiji(Iwate University),Shida Yutaka(Iwate University),Takaki Kouichi(Iwate University),Fujiwara Tamiya(Iwate University)

要約(日本語): 大面積ガラス基板に対する表面処理・表面改質用として常圧帯状プラズマが使用されているが，常圧や大気圧下で伸長な帯状プラズマを一様に発生するためには放電開始電圧を低くすることが有効である．本研究ではトリガ方式による大気圧バリア放電の放電開始電圧低下を試みた．電極間隔0.5～2.0mmに対して，トリガ電圧印加を4kVppまで変化させたところ，放電開始電圧は40%程度まで低下することが明らかになった．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 832 Kバイト