CF4/希ガス混合気体を用いた大気圧誘電体バリア放電におけるCF4分解特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT11044

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会

発行日: 2011/10/21

タイトル(英語): CF4 decomposition using atmospheric pressure dielectric barrier discharges in CF4/noble gas mixtures

著者名: 井出 存(首都大学東京),白井 直機(首都大学東京),杤久保 文嘉(首都大学東京),内田 諭(首都大学東京)

著者名(英語): Ide Tamotsu(Tokyo Metropolitan University),Shirai Naoki(Tokyo Metropolitan University),Tochikubo Fumiyoshi(Tokyo Metropolitan University),Uchida Satoshi(Tokyo Metropolitan University)

キーワード: 誘電体バリア放電|パックドベッド放電|非熱平衡大気圧プラズマ|大気圧グロー放電|ＣＦ４分解|発光分光分析|dielectric barrier discharge|packed-bed discharge|atmospheric pressure nonthermal plasma|atmospheric pressure glow discharge|CF4 decomposition|emission spectroscopy

要約(日本語): CF4を含むパーフルオロカーボン類(PFCs)は，半導体産業において広く利用されているが、温室効果ガスであるため排出削減技術が実践されている。その中の一つにプラズマ分解を用いたPFCs除外装置がある。本報告では、同軸円筒型の誘電体バリア放電および、電極間にガラスビーズ等を入れたパックドベッド放電における実験を行い、各放電における放電特性、CF4の分解特性を報告する。

要約(英語): Atmospheric pressure nonthermal plasma is the promising tool for efficient decomposition of perfluoro- carbons(PFCs) including CF4. In this work, we investigated the gas discharge properties such as voltage-current characteristics, optical emission spectrosopies and CF4 decomposition efficiency in dielectric barrier discharge and packed-bed discharge in CF4/noble gas mixtures. The packed-bed discharge is the one prepared by packing glass beads in the dielectric barrier discahrge.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,290 Kバイト