圧電トランスを用いた誘電体バリア放電型プラズマリアクタの放電電力測定法

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT11051

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会

発行日: 2011/10/21

タイトル(英語): Measurement Method of Discharge Power for DBD-Type Plasma Reactor Constructed by Piezoelectric Transformer

著者名: 寺西 研二(徳島大学),下村 直行(徳島大学),伊藤 晴雄(千葉工業大学)

著者名(英語): Teranishi Kenji(The University of Tokushima),Shimomura Naoyuki(The University of Tokushima),Itoh Haruo(Chiba Institute of Technology)

キーワード: 圧電トランス|誘電体バリア放電|表面電位|放電電力|リサジュー図形|piezoelectric transformer|dielectric barrier discharge|surface potential|discharge power|Lissajous figure

要約(日本語): 高電圧を発生する圧電トランス（PT）2次側表面を放電電極とした誘電体バリア放電型プラズマリアクタにおいて，PTの機械振動の共振に伴い発生する2次側表面電位はその振動方向に対して定在波状に分布する。本報告では，PTを用いた誘電体バリア放電発生器の背後電極を長さ方向に分割した構造を用いたPT表面電位と放電電力の空間分布測定法とその結果について報告する。

要約(英語): When a dielectric barrier discharge (DBD) is excited by a plasma reactor based on the piezoelectric transformer (PT), surface potential on the PT surface is distributed as a standing wave profile due to the mechanical resonance of the PT. This paper describes the measurement method and experimental results for the surface potential and discharge power distributions on the PT surface.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,104 Kバイト