低気圧放電酸素プラズマ中のO2分子とO2+分子イオンの回転温度差について

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT11096

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会

発行日: 2011/12/16

タイトル(英語): Difference in Rotational Temperature between O2 and O2+ in Low-Pressure Discharge Oxygen Plasma

著者名: 赤塚 洋(東京工業大学),直井 浩一(東京工業大学),松浦 治明(東京工業大学)

著者名(英語): Akatsuka Hiroshi(Tokyo Institute of Technology),Naoi Koichi(Tokyo Institute of Technology),Matsuura Haruaki(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 酸素プラズマ|分子スペクトル|発光分光計測|回転温度|酸素分子正イオン|中性酸素分子励起状態|O2 Plasma|Molecular Spectrum|Optical Emission Spectroscopy|Rotational Temperature|O2+ ion|O2 excited states

要約(日本語): 圧力1Torr程度のマイクロ波放電酸素プラズマにつき、中性酸素分子励起状態の発光Atmospheric Absorption Band、及び酸素分子正イオン励起状態の1st Negative Systemの理論解析を検討しOES測定した所、両者とも同程度の回転温度を示した。この性質は窒素プラズマの窒素分子と全く異なる。このような実験事実を報告し、回転温度差の原因を考察したい。

要約(英語): We found that the rotational temperature of 1NS of O2 plasma, which is determined from the excited states of O2+ ion, is almost the same as other rotational temperatures of neutral molecules. These experimental results are discussed from the viewpoint of spectroscopic analysis.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,205 Kバイト