内部電極が挿入された対向電極型大電力パルススパッタ放電におけるイオン電流の圧力依存性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT11097

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会

発行日: 2011/12/16

タイトル(英語): Gas pressure dependence of Ion current in the confronted targets type high power pulse sputtering discharge with inside grounded shield electrode.

著者名: 東 欣吾(兵庫県立大学),奥原 大地(兵庫県立大学),樋口 徹(兵庫県立大学),行村 建(産業技術総合研究所),中野 禅(産業技術総合研究所),小木曽 久人(産業技術総合研究所)

著者名(英語): Kingo Azuma(University of Hyogo),Daichi Okuhara(University of Hyogo),Toru Higuchi(University of Hyogo),Ken Yukimura(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology),Shizuka Nakano(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology),Hisato Ogiso(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology)

キーワード: パルス放電プラズマ|グロー放電|ペニング放電|大電力スパッタ|プラズマイオンプロセス|Pulsed discharge plasma|Glow discharge|Penning discharge|High power sputter|Plasma ion process

要約(日本語): 対向電極型大電力パルススパッタ源で幅１０ｍｍで向かいあう一組のターゲット電極の間でイオン化率の高い金属プラズマが生成される。このプラズマ源には中央部に空洞があり、接地された電極を挿入すると放電維持電圧が低下した。その結果、圧力0.5Paのアルゴンガス環境下で250mAのイオン電流が得られた。このとき印加されたパルス電圧は電圧-800V、パルス幅 40 us、繰り返し周波数 500Hz であった。

要約(英語): High power pulse sputtering plasma is produced among a pair of sputtering targets which confront each other.　The distance between targets is 10 mm. There are permanent magnets in the back of a sputtering target. Magnetic flux crosses the surface of a target perpendicularly. The permanent magnets are connected by a U-shaped magnetic circuit. So, the center of a magnetic circuit is a void of 20 mm×30 mm×60 mm. A cubic metal rod of 60 mm in length was inserted in this place. The distance between the cathode and the cubic rod is about 2 mm. The rod was electrically-grounded and worked as an electrostatic shield. Pulse voltage applied the plasma source had the voltage of 800 V, pulse duration of 40 s and repetition frequency of 500 Hz. The ion current observed with the collector electrode which is separated 50 mm from the sputter targets in the argon gas and was applied the d. c. voltage of 50V. The ion current increased with the decrease in the gas pressure and was about 240 mA under the pressure of 0.5 Pa.

原稿種別: 日本語

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