大気圧線状グロー放電プラズマ装置の開発とアモルファスカーボン成膜実験

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT11100

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会

発行日: 2011/12/16

タイトル(英語): Development of line glow discharge plasma device and preparation of amorphous carbon films

著者名: 福井 経太(兵庫県立大学),菊池 祐介(兵庫県立大学),松尾 吉晃(兵庫県立大学),堀口 恭光(栗田製作所),西村 芳実(栗田製作所),永田 正義(兵庫県立大学),八束 充保(兵庫県立大学)

著者名(英語): Fukui Keita(University of Hyogo),Kikuchi Yusuke(University of Hyogo),Matsuo Yoshiaki(University of Hyogo),Horiguchi Yasumitsu(Kurita Seisakusyo Co. Ltd.),Nishimura Yoshimi(Kurita Seisakusyo Co. Ltd.),Nagata Masayoshi(University of Hyogo),Yatsuzuka Mitsuyasu(University of Hyogo)

キーワード: 大気圧プラズマ|ダイヤモンドライクカーボン|高電圧パルス|Atmospheric pressure plasma|Diamond-like carbon|High voltage pulse

要約(日本語): これまでに低気圧プラズマを用いたDLC成膜実験装置が実用化されているが、その成膜速度の低さから厚膜のDLC成膜は困難である。また、真空容器が必要なため、対象物の大きさが制限される。そこで、本研究では大気圧線状グロー放電プラズマを安定に得るために、高繰り返し高電圧パルス電源を2台用意し、平行平板電極およびバイアス電極用電源に適用し、成膜実験を行った。

要約(英語): Line glow discharge plasmas at atmospheric pressure were generated for preparation of large-area amorphous carbon films. The dielectric barrier discharge was produced by the high-voltage, high-repetition bipolar pulse applied between the parallel-plate electrodes with two quartz glasses as dielectric barrier. An amorphous carbon film was prepared with the line glow discharge plasma.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,395 Kバイト