ICP合成によるZnO透明導電膜の光吸収係数のプロセス条件依存性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT11102

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会

発行日: 2011/12/16

タイトル(英語): Process condition dependence of the light absorption coefficient of ZnO transparent conductive film synthesized in the ICP

著者名: 岸田 智和(茨城大学大学院),柳澤 真也(茨城大学大学院),池畑 隆(茨城大学大学院),佐藤 直幸(茨城大学大学院)

著者名(英語): Kishida Tomokazu(Ibaraki University),Yanagisawa Shinya(Ibaraki University),Ikehata Takashi(Ibaraki University),Sato Naoyuki(Ibaraki University)

キーワード: ＺｎＯ透明導電膜|広帯域光透過率|誘導結合プラズマ|光吸収係数|組成比|配向|ZnO transparent conductive film|wide band light transmittance|ICP|light absorption coefficient|composition ratio|orientation

要約(日本語): 多接合太陽電池の透明電極を念頭において，亜鉛-酸素混合のVHF帯ICPを用いて，ZnO透明導電膜(TCF)を合成している．これまで，ノンドープ条件で波長範囲365～2400 nmで平均光透過率<ζ>=90 %，シート抵抗Rs=40 Ω/□が得られている．今回は，ZnO-TCF特性の更なる向上のため，プラズマ生成条件を変えて，プラズマパラメータと広帯域での光吸収係数の相関を観察している．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,126 Kバイト