パルスマグネトロングロープラズマの磁場制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT14004

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会

発行日: 2014/01/07

タイトル(英語): Control of Pulsed Magnetron Glow Plasma Using Magnetic Ffield

著者名: 小西 匠(岩手大学院),高木 浩一(岩手大学),行村 建(岩手大学,産業技術総合研究所)

著者名(英語): Takumi Konishi(Department of Electrical and Electronic Engineering,Iwate University),Koichi Takaki(Department of Electrical and Electronic Engineering,Iwate University),Ken Yukimura(the Department of Electrical and Electronic Engineering,Iwate University,Morioka 020-8551,Japan and also with the Nanoelectronics Research Institute,National Institute of Advanced Industrial Science and Technology-Tsukuba)

キーワード: マグネトロンスパッタ|ダイヤモンドライクカーボン|グロープラズマ|Magnetron sputtering|Diamond-like carbon|Glow plasma

要約(日本語): カーボンターゲット背面に設置したネオジウム磁石の配置を変えることで、ターゲット上空間に形成される磁界を制御した。形成されるプラズマを分光器を用いて観測した。マグネトロンカソードの内部磁石の個数を減らすことで、プラズマが生成される領域がアース板から遠ざかった。その結果、アーク放電への移行が遅れ、より高い電圧を印加することができ、高密度のグロープラズマを生成することができた。

要約(英語): The magnetic field distribution was arranged using neodymium magnets which were put behind a carbon target disk.The pulse magnetron glow plasma generated along a race trace i.e. maximum amplitude of radial magnetic field. The power deposition and the plasma density increased with increasing pulse voltage applied to the carbon target.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,721 Kバイト