準大気圧下における高繰り返しナノ秒パルス放電プラズマの特性評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT16047

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会

発行日: 2016/08/26

タイトル(英語): Characteristics of high-repetition nano-seconds pulsed plasma at sub-atmospheric pressure

著者名: 小倉 匡貴(兵庫県立大学),菊池 祐介(兵庫県立大学),大坪 陽(栗田製作所),西村 芳美(栗田製作所),永田 正義(兵庫県立大学),八束 充保(兵庫県立大学)

著者名(英語): Masataka Ogura(University of Hyogo),Yusuke Kikuchi(University of Hyogo),Akira Ootsubo(KURITA seisakusho),Yoshimi Nishimura(KURITA seisakusho),Masayoshi Nagata(University of Hyogo),Mitsuyasu Yatsuzuka(University of Hyogo)

キーワード: 高繰り返しナノ秒パルス電源|準大気圧プラズマ|ＤＬＣ|High-repetition nano-seconds pulse power supply|Sub-atmospheric pressure plasma|DLC

要約(日本語): 近年のパワー半導体デバイスの開発により、高繰り返しナノ秒パルス電源を用いたプラズマ生成が可能になっている。本研究では、高繰り返しナノ秒パルス電源を用いて準大気圧下にてプラズマを生成し、ダイヤモンドライクカーボンの高速成膜等の材料表面改質実験を行っている。講演では繰り返し周波数、パルス幅、ガス圧力を変化させたときのパルス放電プラズマ特性について発表する。

要約(英語): In this study, a pulsed plasma at sub-atmospheric pressure was generatedusing a high-repetition nano-seconds pulse power supply for materialsurface modification such as preparation of diamond-like carbon film.Characteristics of the discharge plasma with variations of repetitionfrequency, pulse width of pulse voltage, and gas pressure will be shown.

原稿種別: 日本語

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