四重極質量分析法によるダイヤモンドライクカーボン成膜用炭化水素プラズマの診断

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PPT16062

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会

発行日: 2016/10/20

タイトル(英語): Diagnostics of Capacitively-Coupled Hydrocarbon Plasmas for Deposition of Diamond-Like Carbon Films using Quadrupole Mass Spectrometry

著者名: 深井 駿(千葉工業大学),大野 祐也(千葉工業大学),小田 昭紀(千葉工業大学)

著者名(英語): Shun Fukai(Chiba Institute of technology),Yuya Ohno(Chiba Institute of technology),Akinori Oda(Chiba Institute of technology)

キーワード: プラズマＣＶＤ|ダイヤモンドライクカーボン|炭化水素ガス|高周波プラズマ|四重極質量分析|Plasma-Enhanced CVD|Diamond-Like Carbon|Hydrocarbon Gas|Radio-Frequency Plasmas|Quadrupole Mass Spectrometry

要約(日本語): ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜は、高硬度や耐摩耗性などの特性をもっており、切削工具や自動車部品などの幅広い分野に応用されている。このとき、DLC膜の成膜源である炭化水素プラズマと成膜品質の相関には未解明な部分が多く、炭化水素プラズマの諸特性を理解することは非常に重要である。本研究では、四重極質量分析装置を用いて炭化水素プラズマ中の各粒子の密度の測定を行ったので、その結果について報告する。

要約(英語): The DLC films have been widely used for various applications, such as automotive, semiconductors, medical devices, since the films have excellent material properties in higher hardness and higher wear resistance. In this work, radio-frequency hydrocarbon (Ar-diluted CH4 gas mixture) plasmas have been diagnozed using a quadrupole mass spectrometer.

原稿種別: 日本語

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