多孔質アルミナ膜の絶縁破壊特性と希ガスバリア放電への応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05007

発行日: 2005/03/03

タイトル(英語): Breakdown characteristics of porous alumina membrane and its application for rare gas barrier discharge

著者名: 山口 隆士 久保田 智史 安岡 康一 石井 彰三 中井 真澄 蓮尾 俊治(東京工業大学,九州三井アルミニウム工業)

著者名(英語): Takashi Yamaguchi Satoshi Kubota Koichi Yasuoka Shozo Ishii(Tokyo Institute of Technology )Masumi Nakai Syunji Hasuo(Kyusyu Mitsui Aluminum Co. LTD)()

キーワード: 絶縁破壊,陽極酸化アルミニウム,誘電体バリア放電,イオントラッピング現象

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 773 Kバイト