ターゲット電流を用いたシャンティングアークプラズマの密度計測

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05009

発行日: 2005/03/03

タイトル(英語): Density measurement of shunting arc plasma using target current

著者名: 熊谷 倫 向川 政治 高木 浩一 藤原 民也 行村 建 江古 憲一(岩手大学,同志社大学)

著者名(英語): Osamu Kumagai Seiji Mukaigawa Koichi Takaki Tamiya Fujiwara(Iwate University) Ken Yukimura Kenichi Ego(Doshisha University)()

キーワード: シャンティングアーク放電,ターゲット電流,シース抵抗,プラズマ密度，

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 893 Kバイト