誘導結合型プラズマスパッタリングを用いた銅微粒子合成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05013

発行日: 2005/03/03

タイトル(英語): Synthesis of copper fine particles by inductively coupled plasma sputtering

著者名: 今村 武司 三沢 達也 大津 康徳 藤田 寛治(佐賀大学)

著者名(英語): Takeshi Imamura Tatsuya Misawa Yasunori Ohtsu Hiroharu Fujita(Saga University)()

キーワード: 銅微粒子,スパッタリング,誘導結合型プラズマ

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 726 Kバイト