磁気結合型無電極ランプのプラズマ特性に関する研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05020

発行日: 2005/03/04

タイトル(英語): Study on the Plasma Characteristics of the Inductively Coupled Electrodeless Lamp

著者名: 植月 唯夫 二又 里志(津山工業高等専門学校)

著者名(英語): Tadao Uetsuki Satoshi Nimata(Tsuyama National College of Technology)()

キーワード: 無電極ランプ,プラズマ,電子温度,駆動周波数

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 731 Kバイト