各種ガス圧下における表面波プラズマのシミュレーション

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05024

発行日: 2005/03/04

タイトル(英語): Simulation of Surface Wave Plasma on low Gas Pressure

著者名: 勝俣 宏信 小越 澄雄(東京理科大学)

著者名(英語): Hironobu Katsumata Sumio Kogoshi(Tokyo University of Science)()

キーワード: 表面波プラズマ,共鳴吸収,ガス圧,電子温度

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 703 Kバイト