誘電体板上での表面波フラズマ生成の実験

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05025

発行日: 2005/03/04

タイトル(英語): An experiment of the surface plasma generation along the dielectric slot line guide

著者名: 田中 聡 室 昌宏 西谷 竜二(福山大学,タカヤ)

著者名(英語): Satoshi Tanaka Masahiro Muro Ryuji Nishitani()

キーワード: ECR プラズマ,永久磁石,スロットライン線路,表面波プラズマ

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 706 Kバイト