RF・高電圧パルス重畳PBIID法における立体形状表面近傍のプラズマ発光

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05031

発行日: 2005/03/04

タイトル(英語): Plasma Emissions from Three-dimensional Sample Surface in the System of Superimposed RF and High Voltage Pulse PBIID

著者名: 西川 圭ー 切貫 理治 岡 好浩 藤原 関夫 八束 充保(兵庫県立大学)

著者名(英語): Keiichi Nishikawa Michiharu Kirinuki Yoshihiro Oka Etsuo Fujiwara Mitsuyasu Yatsuzuka(University of Hyogo)()

キーワード: プラズマイオン注入成膜法(PBIID),ダイヤモンドライクカーボン(DLC),プラズマ発光

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 593 Kバイト