PBIID 法を用いて作製したDLC 膜の摩擦特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05032

発行日: 2005/03/04

タイトル(英語): Frictional Property of DLC Film Prepared by Plasma-Based Ion Implantation and Deposition

著者名: 富田 晃史 岡 好浩 切貫 理治 八束 充保(兵庫県立大学)

著者名(英語): Akifumi Tomita Yoshihiro Oka Michiharu Kirinuki Mitsuyasu Yatsuzuka(University of Hyogo)()

キーワード: PBIIO,OLC,摩擦特性,密着強度,摩擦係数

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 815 Kバイト