アノード分極法によるDLC 膜のピンホール欠陥評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05033

発行日: 2005/03/04

タイトル(英語): Measurement of Pinhole Defect of DLC Film by Anodic Polarization Method

著者名: 立岩 淳一 内田 仁 八束 充保(兵庫県立大学)

著者名(英語): Junichi Tateiwa Hitoshi Uchida Mitsuyasu Yatsuzuka(University of Hyogo)()

キーワード: プラズマイオン注入成膜法,DLC,耐食性,アノード分極法,CPCD 法

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,060 Kバイト