プラズマによる固体表面洗浄

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05034

発行日: 2005/03/04

タイトル(英語): Solid surface cleaning by means of low pressure RF plasma

著者名: 佐藤 和明 小野 茂(武蔵工業大学)

著者名(英語): Kazuaki Sato Shigeru Ono(Musashi Institute of Technology)()

キーワード: 高周波,低圧プラズマ,酸素,表面洗浄,ステンレス,接触角,X 線光電子分光法

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 784 Kバイト