マイクロ波プラズマによるダイヤモンド合成の現状

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05039

発行日: 2005/06/30

タイトル(英語): Recent Development in Diamond Synthesis Using Microwave Plasma CVD

著者名: 八田 章光(高知工科大学)

著者名(英語): Akimitsu Hatta(Kochi University of Technology)()

キーワード: ダイヤモンド薄膜,マイクロ波プラズマCVO

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,125 Kバイト