マグネトロンスパッタリングにおける高エネルギー粒子の発生過程と計測

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05043

発行日: 2005/06/30

タイトル(英語): Measurement of High Energy Particles in Magnetron Sputtering Plasma and Their Production Processes

著者名: 坂下 洋平 豊田 浩孝 菅井 秀郎(名古屋大学)

著者名(英語): Yohei Sakashita Hirotaka Toyoda Hideo Sugai(Nagoya University)()

キーワード: マグネトロンプラズマ,高エネルギー粒子,質量分析

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 743 Kバイト