Ignition Characteristics of Radio Frequency Inductively Coupled Plasmas at Atmospheric Pressure

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05047

発行日: 2005/06/30

タイトル(英語): Ignition Characteristics of Radio Frequency Inductively Coupled Plasmas at Atmospheric Pressure

著者名(英語): M.Abdur Razzak Takamura Shuichi (Nagoya University) Uesugi Yoshihiko(Kanazawa University) Ohno Noriyasu(Eco Topia Science Institute Nagoya University)()

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 英語

PDFファイルサイズ: 719 Kバイト