表面波励起低圧フラズマCVD によるカーボンナノ物質の合成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05051

発行日: 2005/08/04

タイトル(英語): Carbon nanomaterial depositions using surface-wave excited low-pressure plasma CVD

著者名(英語): Jaeho Kim Kazuo Terashima Makoto Katsurai(University of Tokyo)()

キーワード: フラズマCVD,表面波フラズマ,マイクロ波プラズマ,ナノクリスタルダイヤモンド,カーボンナノウォール

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,656 Kバイト