マイクロストリップ技術を用いた2.45GHz マイクロ波励起大気圧非平衡マイクロフラズマ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05052

発行日: 2005/08/04

タイトル(英語): 2.45GHz microwave excited atmospheric pressure no equilibrium microplasmas using microstrip technology

著者名: 金 載浩 寺嶋 和夫(東京大学)

著者名(英語): Jaeho Kim Kazuo Terashima(University of Tokyo)()

キーワード: マイクロ波励起プラズマ,マイクロプラズマ,大気圧非平衡プラズマ,空気プラズマ,マイクロストリップ技術

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 970 Kバイト