UBM-PBII複合法を用いたTiミキシング層の作製

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05073

発行日: 2005/10/27

タイトル(英語): Formation of Ti Mixing Layer by Hybrid Process of Unbalanced Magnetron Sputtering and Plasma-Based Ion Implantation

著者名: 小野 武雄 上村 雅治 八束 充保(兵庫県立大学)

著者名(英語): Takeo Ono Masaharu Uemura Mitsuyasu Yatsuzuka(University of Hyogo)()

キーワード: アンバランスドマグネトロン(UBM),プラズマイオン注入(PBII),窒化チタン(TiN)

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 673 Kバイト