RF・高電圧パルス重畳PBIID 法における二次電子発生とプラズマ発光

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05074

発行日: 2005/10/27

タイトル(英語): Secondary Electron Emission and Plasma Emissions from Three-dimensional Sample Surface in the System of Superimposed RF and High Voltage Pulse PBIID

著者名: 西川 圭ー 岡 好浩 藤原 閲夫 八束 充保(兵庫県立大学)

著者名(英語): Keiichi Nishikawa Yoshihiro Oka Etsuo Fujiwara Mitsuyasu Yatsuzuka(University of Hyogo)()

キーワード: プラズマイオン注入成膜法(PBID),プラズマ発光,二次電子放出

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 746 Kバイト