イオンビーム援用BN薄膜の作製と分子動力学評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05079

発行日: 2005/10/27

タイトル(英語): Preparation and Molecular Dynamics Evaluation of BN Films by Ion -Beam- Assisted Deposition

著者名: 花木 聡 栗原 朗優 山下 正人 内田 仁(兵庫県立大学)

著者名(英語): Preparation and Molecular Dynamics Evaluation of BN Films by Ion-Beam-Assisted Deposition()

キーワード: イオンミキシング蒸着,BN薄膜,加速電圧,輸送比,分子動力学

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,113 Kバイト