プラズマイオン注入・成膜法を用いて作製したDLC膜の体積抵抗率特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05080

発行日: 2005/10/27

タイトル(英語): Volume Resistively Property of DLC Film Prepared by Plasma-Based Ion Implantation and Deposition

著者名: 内海 隆行 岡 好浩 藤原 閲夫 八束 充保(兵庫県立大学)

著者名(英語): Takayuki Utsumi Yoahihiro Oka Etsuo Fujiwara Mitsuyasu Yatsuzuka(University of Hyogo)()

キーワード: プラズマイオン注入成膜法,ダイヤモンドカーボン(DLC),体積抵抗率,二重リング法

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 724 Kバイト