マイクロ波フラズマCVD 法によるナノダイヤモンド/アモルファスカーボン複合膜の合成と相制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05082

発行日: 2005/10/27

タイトル(英語): Phase Control of Nano diamond-Amorpholls Carbon Composite Films Deposited by Microwave Plasma-Enhanced CVD

著者名: 堤井 君元 池田 知弘(九州大学)

著者名(英語): Kungen Teii Tomohiro Ikeda(Kyushu University)()

キーワード: ナノダイヤモンド,アモルファスカーボン,半導体,マイクロ波プラズマ

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 804 Kバイト