Ar-N2パルス変調誘導熱プラズマを用いた金属表面窒化処理における照射条件依存性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05085

発行日: 2005/10/27

タイトル(英語): Dependence of Irradiation Conditions on High-speed Surface Nitriding Process Using Ar-N2 Pulse Modulated Induction Thermal Plasmas

著者名: 室屋 貴史 田中 康規 上杉 喜彦(金沢大学)

著者名(英語): Takafumi Muroya Yasunori Tanaka Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University)()

キーワード: Ar-N2誘導熱プラズマ,パルス変調,Nスペクトル,窒化チタン,表面改質数値解析

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,480 Kバイト