フッ素系ガスプラズマRIE を用いたLiNbO3結晶のマスク非使用による表面加工

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05088

発行日: 2005/10/27

タイトル(英語): Fine Surface Processing of LiNbO3 Crystal Etched Without Mask Using Fluorine System Gas Plasma R1E

著者名: 藤井 隆裕 小俣 輝明 吉門 進三(同志社大学)

著者名(英語): Takahiro Fujii Teruaki Ornata Shinzo Yoshikado(Doshisha University)()

キーワード: LiNbO3,プラズマRIE,エッチング表面,マスク非使用,微細加工

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,303 Kバイト