プラズマイオン注入用高密度・大容量プラズマ源の開発とその評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05090

発行日: 2005/10/27

タイトル(英語): Production of High Density Plasma Generator for Plasma Source Ion Implantation

著者名: 橋本 好幸(神戸高専)

著者名(英語): Yoshiyuki HASHIMOTO(Kobe City College of Technology)()

キーワード: プラズマ生成,高密度プラズマ,多相交流電源,グロー放電

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 788 Kバイト