分布定数線路を用いた高周波パルス電源とその大気圧マイクロフラズマ生成への適用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05100

発行日: 2005/10/28

タイトル(英語): High-frequency pulse generator with a distributed constant line and its application to atmospheric microplasma generation

著者名: 三上 亮 古屋 文崇 井深 真治 安岡 康一 石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Ryo Mikami Fumitaka Furuya Shinji Ibuka Koichi Yasuoka Shozo Ishii(Tokyo Institute of Technology)()

キーワード: マイクロフラズマ,大気圧グロー放電,分布定数線路,パルス電源

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,171 Kバイト