パルスプラズマにおける過渡イオンシースについて

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST05102

発行日: 2005/10/28

タイトル(英語): Transient Ion Sheath in Pulsed Plasmas

著者名: 政宗 貞男 行村 建(京都工芸繊維大学,同志社大学)

著者名(英語): S.Masamune(Kyoto Institute of Technology) K.Yukimura(Doshisha University)()

キーワード: プラズマイオン注入堆積法,イオンシース,パルスプラズマ,空間的局在性

要約(英語): 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 699 Kバイト